Sensibilidad del Medidor de Flujo Turbina para Redes de Distribución de UPW Recirculante: Lecciones de Ingeniería de Shanghai ChiMay
En una fábrica de semiconductores, el bucle de distribución de agua ultrapura (UPW) funciona como un anillo de recirculación, típicamente a tasas de flujo de unos pocos cientos a varios miles de litros por minuto. Los medidores integrados en ese anillo realizan tres funciones: confirmar el equilibrio hidráulico, monitorear el consumo en el punto de…
