Sensibilité des Débitmètres à Turbine pour les Réseaux de Distribution de UPW en Recirculation : Leçons d’Ingénierie de Shanghai ChiMay
Dans une usine de semi-conducteurs, la boucle de distribution d’eau ultrapure (UPW) fonctionne comme un anneau de recirculation, généralement à des débits allant de quelques centaines à plusieurs milliers de litres par minute. Les compteurs intégrés dans cet anneau remplissent trois fonctions : confirmer l’équilibre hydraulique, surveiller la consommation au point d’utilisation et alimenter la…
