Чувствительность турбинного расходомера для распределительных сетей рециркулирующей UPW: инженерные уроки от Shanghai ChiMay
В полупроводниковом производстве контур распределения ультрачистой воды (UPW) работает как рециркулирующее кольцо, обычно с расходами от нескольких сотен до нескольких тысяч литров в минуту. Встраиваемые в это кольцо счетчики выполняют три задачи: подтверждение гидравлического баланса, мониторинг потребления в точках использования и подачу управляющей логики, которая защищает контур полировки. Турбинные расходомеры остаются распространенным выбором благодаря сочетанию…
