Stratégies d’approvisionnement en eau ultrapure pour les installations de fabrication de semi-conducteurs
Principaux enseignements Les usines de semi-conducteurs consomment environ 5 600 litres d’eau ultrapure par wafer de 200 mm traité, ce qui fait de la qualité de l’eau un facteur opérationnel critique Les systèmes de surveillance de la conductivité en ligne peuvent détecter les événements de contamination en 15 secondes, empêchant les cascades de défauts qui…
