Датчики взвешенных твердых частиц для процессов шлифования полупроводниковых пластин
Введение Производство полупроводниковых пластин использует процессы шлифования, которые генерируют значительное количество абразивной суспензии, содержащей взвешенные частицы кремния и абразивные частицы. Эффективное управление этими отходами требует непрерывного мониторинга взвешенных твердых частиц (SS) для оптимизации фильтрационных систем, минимизации образования отходов и поддержания качества процесса. Процессы рециркуляции и фильтрации шлифовочной суспензии обычно работают при концентрациях взвешенных твердых частиц…
