Мониторинг проводимости высокочистой воды для процессов очистки полупроводников
Введение Вода является универсальным растворителем, и даже загрязнение на уровне частей на триллион может уничтожить структуру наноразмерного устройства. Именно поэтому системы ультра-чистой воды (UPW) проектируются на пределе измеряемого — и именно поэтому проводимость, основной индикатор ионной чистоты, контролируется с особой тщательностью от предварительной обработки до точки использования. Капитальные инвестиции в полупроводники сейчас составляют сотни миллиардов…
