Как дефекты пластин связаны с пробелами в калибровке датчиков UPW? Мнения от Shanghai ChiMay
Как дефекты пластин связаны с пробелами в калибровке датчиков UPW? Мнения из Шанхая ChiMay Расследование дефектов пластин — это один из самых смиряющих опытов в производстве полупроводников. Дефект может возникнуть из тысячи мест: частица в литографическом тракте, загрязненная партия химикатов, выпечка вне допуска, неправильно выровненный имплант. Однако в удивительной доле расследований коренная причина оказывается связанной…
