Quel rôle joue la surveillance de la conductivité en temps réel dans la fabrication de semi-conducteurs ?
Points Clés Les fabs de semi-conducteurs consomment 2-4 gallons d’eau ultrapure par wafer, avec un suivi de la conductivité garantissant que chaque gallon respecte les spécifications de résistivité de 18.2 MΩ·cm La surveillance en temps réel permet un 99.5% de disponibilité dans les systèmes de distribution d’UPW en détectant la contamination avant qu’elle n’atteigne les…
