Capteurs de solides en suspension pour les processus de meulage de wafers semi-conducteurs
Introduction La fabrication de plaquettes de semi-conducteurs utilise des processus de meulage qui génèrent d’importantes quantités de boue abrasive contenant du silicium en suspension et des particules abrasives. Une gestion efficace de ces flux de déchets nécessite une surveillance continue des solides en suspension (SS) pour optimiser les systèmes de filtration, minimiser la génération de…
