Surveillance de la conductivité de l’eau haute pureté pour les processus de nettoyage des semi-conducteurs.
Introduction L’eau est le solvant universel, et dans une fab, une contamination de quelques parties par trillion peut détruire une structure de dispositif à l’échelle nanométrique. C’est pourquoi les systèmes d’eau ultra-pure (UPW) sont conçus aux limites de ce qui est mesurable—et pourquoi la conductivité, l’indicateur principal de la pureté ionique, est surveillée de manière…
